凈化廠房（潔凈區(qū)）監(jiān)測標準表（下篇）

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00

2014年1月1日

原始版本

區(qū)域

內容

10000級區(qū)

100級

溫濕度

標   準

溫度18－26℃，相對濕度45%－65%

測定頻次

2次／班（上、下午各一次）

壓差

標    準

  不同潔凈級別≥5Pa、與外界相連≥10Pa，相同潔凈度級別不同功能房間壓差梯度不小于3Pa

測定頻次

2次／班（上、下午各一次）

懸浮

粒子

靜態(tài)標準

（個／m3）

≥0.5um

≥5um

≥0.5um

≥5um

≤350000

≤2000

≤3500

0

測定頻次

1次/季度

1次/季度

動態(tài)標準

（個／m3）

≥0.5um

≥5um

≥0.5um

≥5um

≤3520000

≤29000

≤3520

20

測定頻次

1次/周

1次/周

沉降菌

靜態(tài)標準

（CFU/皿）

≤3

＜1

測定頻次

1次／季度

1次／季度

動態(tài)標準

（CFU/皿）

≤50

平均應＜1

測定頻次

1次／周

1次／班

浮游菌

動態(tài)標準

（CFU/ m3）

≤100 CFU/ m3

＜1

測定頻次

1次／周

1次／周