電子行業(yè)凈化工程

2016-05-26 11:58:06 作者：admin 出處：科瓦特

電子行業(yè)凈化工程簡介

凈化工程的應(yīng)用主要分為兩大領(lǐng)域，其中在工業(yè)方面的應(yīng)用領(lǐng)域以電子工業(yè)，精密工業(yè)為典型代表，

主要以無生命的微粒作為控制對(duì)象，控制無生命微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部保持一定正壓，防止污染

擴(kuò)散。我們?cè)陔娮有袠I(yè)的稱呼也一般叫無塵車間，潔凈車間，凈化廠房，潔凈室，無塵室……。

潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控，照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或

規(guī)范受控，另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易

產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50

-60%之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)

車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制

造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象，同時(shí)還對(duì)

其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。

電子行業(yè)凈化工程

電子廠房凈化工程圖

電子制造凈化工程標(biāo)準(zhǔn)：

1、電子制造廠萬級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)。

2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局

部單向流了。

3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓

差不應(yīng)小于5Pa。

4 、電子制造行業(yè)萬級(jí)潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值。

5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6 、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱

器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，

新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量，應(yīng)取下面三項(xiàng)最大值。

7、保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量。

8、根據(jù)熱，濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量。

9、向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

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